バックグラインド（BG）研削加工
より早く・より薄く・より確実に
- Siウェハー6インチ,8インチ,12インチ対応
- ドライポリッシュによるストレスリリーフ加工
- 高BUMP付ウェハー量産対応可能
バックグラインド（BG）作業の流れ
特殊工程
BG後インラインによるストレスリリーフが可能
ポリグラインド
- 6インチ、8インチ、12インチ対応
- #8000相当のハイメッシュによる加工による準ストレスリリーフ
- 通常の研削加工同様の安定した品質を確保
ウルトラポリグラインド
- 6インチ、8インチ対応
- #20000 相当の超ハイメッシュによる加工でストレスリリーフ
- 通常の研削加工スピードにポリッシュの強度を兼備えた
ドライポリッシュ
- 8インチ、12インチ対応
- BGからドライポリッシュをインラインで一貫加工
- 砥石による研削痕を除去し、裏面を鏡面化
- ケミカルレス加工により、品質劣化リスクを低減
仕上げ厚さと精度
※ただし全て製品の諸条件によりますので、ご相談ください。
お客さまの御要望をお聞かせください。
まずは、お気軽にお問い合わせください。
